SIMCO ION 扩展ISO Class 1，内嵌N 2离子发生器型号，兼容10 nm Model 4214
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产品名称: SIMCO ION 扩展ISO Class 1，内嵌N 2离子发生器型号，兼容10 nm Model 4214
产品型号: 4214
产品展商: SIMCO ION
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简单介绍
SIMCO ION 扩展ISO Class 1，内嵌N 2离子发生器型号，兼容10 nm Model 4214
SIMCO ION 扩展ISO Class 1，内嵌N 2离子发生器型号，兼容10 nm Model 4214
SIMCO ION 扩展ISO Class 1，内嵌N 2离子发生器型号，兼容10 nm Model 4214
的详细介绍
SIMCO ION 扩展ISO Class 1，内嵌N 2离子发生器型号，兼容10 nm Model 4214
即使在高纯度N 2环境下，4214型静电消除仪也支持“扩展ISO等级1,10nm”的高清洁度，并实现出色的离子平衡。
特点
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采用超低颗粒单晶硅电极。
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采用独特的清洁机制，不会将颗粒释放到外部，确保稳定的长期清洁
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采用不需要任何调整的智能控制电路
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内置传感器不断监测离子产生，以实现可靠的静电消除
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集成紧凑型设计，内置控制器和电源
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自动高压关闭功能可在低流速下保护产品
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超低颗粒应用的理想选择，如先进的半导体制造工艺
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24 V DC驱动器
规范
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输入电压
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24 V DC +/- 5％6 W（典型值）。
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离子平衡
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<+/- 25 V 150 mm距离40 LPM无管道连接
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静电消除时间
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<10秒150毫米距离40 LPM无配管连接
+/- 1 kv→+/- 100 v取决于充电板显示器
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离子生成方法
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电晕放电型高频交流系统
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清洁程度
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ISO等级1,0.1微米“扩展ISO等级10nm”*
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电极
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单晶硅可交换
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相应的吹扫气体
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N 2> 99.998％
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流量
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40 LPM（36.5 Kpa）至90 LPM（171 kPa）
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*大吹扫压力
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207 Kpa（= 100 LPM流量）
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*高气体温度
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60摄氏度
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N 2吹扫连接
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世伟洛克3/8“外径管道
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电离N 2连接
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世伟洛克1/2“外径管道连接，带1 / 4NPT内螺纹连接器或可选接头28-25710-SC
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工作温度范围
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15至60摄氏度
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信号输出
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打开/关闭触点时的报警和离子减少输出
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维
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长度152.4毫米x宽度72.4毫米x深度32毫米不包含
管道部分
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重量
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640克
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外观
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不锈钢
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安装方法
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背面M5螺丝螺丝长度小于10毫米
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关于扩展ISO等级1,10纳米
？ION Systems专门定义了清洁度的定义，以便应对精细的颗粒管理。ISO 14644-1定义为*小粒径为100 nm。扩展ISO Class1,10nm并且使用颗粒的计算公式和ISO14644-1及其允许颗粒的数目的同一允许数将是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺 ） 至少一个粒径10nm的
